大规模量产，使用MLM还是SLM?

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大佬们，最近学习了Foundry的掩膜制造的一些知识，但是对于Single-Layer-Mask和Multi-Layer-Mask的使用场景还是有点疑惑。已知MLM对于进行MPW和NTO的公司是节省成本的好方法，想请问一下，如果在大规模量产的情况下，能否继续使用NTO的MLM掩膜版，还是需要使用SLM掩膜版呢？MLM和SLM的选择，和工艺，设计的面积大小是否有关系?希望能得到解答，谢谢！

dreamflying61

量产时不能用MLM，效率太低了。量产时需要重新做SLM 。