模拟版图小白求助——poly电阻报错

zhzhdpy

工艺库是smic18mmrf，在跑poly电阻drc时出现报错如下

                               
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我的电阻上面有HRP这一层为什么还报错呢？

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「高阻多晶硅区域进行设计规则检查时，必须使用虚拟层HRPDMY」
HRPDMY是晶圆厂规定的​​工艺掩膜层​​，不加这个dummy layer你画的版图DRC直接报错
高阻poly区域通常用在​​射频电路/ESD保护​​结构里，不加dummy会导致实际生产时CMP（化学机械抛光）阶段材料不均匀。