求助大佬们，在版图中，金属dummy/DRC density该怎么填？

Andy_ZhangS · 发表于 2025-3-9 14:13:22

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小弟在做一个12位的SAR ADC，用的TSMC 65nm 1P7M, 4X2Z工艺，CDAC用的mom电容，但是6和7层在CDAC部分的密度不够，思考了几种方案：

方案一：直接在CDAC上覆盖几条6和7层金属，并接到VDD电位。
方案二：直接在CDAC上覆盖几条6和7层金属，但不接电位，悬空。
方案三：在CDAC的各单位电容缝隙之间填6和7层金属，并接到VDD电位。
方案四：在CDAC的各单位电容缝隙之间填6和7层金属，但不接电位，悬空。

因为SAR CDAC对匹配性要求很高，想避免寄生改变权重太多导致校准不回来，所说想请教下各位大佬，该怎么填？或者还有啥别的好办法嘛？抱拳感恩！！！

이지은 · 发表于 2025-3-10 18:07:03

那就缝隙接地呗，还能当sheild用

hippen · 发表于 2025-3-17 17:10:36

同意楼上所说，但要注意对称

Andy_ZhangS · 发表于 2025-3-31 23:59:45

이지은 发表于 2025-3-10 18:07
那就缝隙接地呗，还能当sheild用

好滴好滴，感谢你

Andy_ZhangS · 发表于 2025-4-1 00:00:38

hippen 发表于 2025-3-17 17:10
同意楼上所说，但要注意对称

好的哦，感谢老铁

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