同样的SAR结构，mim比mom有效位数更高？

coolwayhu

最近在做一个SAR,发现用mim和mom电容做cdac，发现mim的精度比mom高很多，这是为什么呢？感觉很奇怪的现象。如果mim更好为什么大家都用mom呢？（mim和mom是同样容值）

jinpeng.li

小工艺常用MOM

castrader

MOM不额外加层

coolwayhu

所以mim就是会比mom的精度高吗？这个原因什么呢？有什么可以改善mom的精度吗

bubushenghua

因为MOM电容虽然绝对值精度不高，但是MOM电容的比值精度很高。一般情况下，高精度电路总是由比值决定性能。比如：BG中，电阻的比值来决定BG的性能。如：ADC中，电容阵列由特殊结构的MOM电容组成。
而MIM电容，需要用到夹层。增加了MASK。也就增加了成本。
它俩的区别可以从作用，成本，工艺制程等对方面进行综合评估。

bubushenghua

   

coolwayhu 发表于 2025-3-3 11:44
所以mim就是会比mom的精度高吗？这个原因什么呢？有什么可以改善mom的精度吗 ...

MIM电容在两层金属之间制作了金属夹层，金属夹层与金属之间的间距较小，并且还填充了高介电常数（high-K）的介质层，所以它的电容密度比较大。这个金属夹层与衬底距离远，因此，与衬底的寄生电容也很小。所以受衬底噪声影响小。所以MIM电容的精度高。而MOM电容是匹配精度高。
要想改善MOM电容的精度，只要技术足够高，可以自己设计，不用工艺厂商给的。



补充内容 (2025-3-21 10:02):
最后一句的经验。是跟着我们班大佬的面试经验得到的。

coolwayhu

   

bubushenghua 发表于 2025-3-3 12:45
MIM电容在两层金属之间制作了金属夹层，金属夹层与金属之间的间距较小，并且还填充了高介电常数（high-K ...

感谢回复，我目前是前仿，所以说明前仿的性能差异是电容容值本身带来的？后仿mom会性能更好？