高压MIM电容

hnxyssy

请问各位知不知道什么工艺下有80V的MIM电容

omityoung

如果两端压差需要80V，那不可能有的。
如果两个压差5V，对地压差80V，是有的。
mim是通过减小版间space来提供较大的电容， 这个space越少，单位容值越大， 但耐压也就越低
在80V下，金属线上下层耐压都会有问题。

高压只会有插指mom电容。

hnxyssy

   

omityoung 发表于 2025-1-10 17:59
如果两端压差需要80V，那不可能有的。
如果两个压差5V，对地压差80V，是有的。
mim是通过减小版间space来提 ...

我在这篇I里面看到了用了80V的MIM Cap:

A 50.7% Peak Efficiency Subharmonic Resonant Isolated Capacitive Power Transfer System with 62mW Output Power for Low-Power Industrial Sensor Interfaces
但是我找不到所以很好奇怎么做到的

另外好像SMIC BCD  .18有35V的MIM, 我问别人的不太确定

lodestar6666

   

hnxyssy 发表于 2025-1-10 18:33
我在这篇I里面看到了用了80V的MIM Cap:

A 50.7% Peak Efficiency Subharmonic Resonant Isolated Capaci ...

论文里有图，Reinforced Isolation Layer，采用的是特殊的隔离层，不是常规MIM

hnxyssy

   

lodestar6666 发表于 2025-1-11 18:54
论文里有图，Reinforced Isolation Layer，采用的是特殊的隔离层，不是常规MIM

它这个第一张图其实是说1kV的片上电容需要 reinforced isolation layer, bottom plate parasitic cap ratio > 1.



但是实际在他的presentation slides里面提到了他们用的是一个几十pF 80V 的MIM作为prototype, 我认为底板电容比例肯定远远小于一，只说了是.35um BCD工艺其他就没提了

感谢帮忙和回复