MOM电容TSMC65nm6X1Z1U的crtmom_rf，PDK示数和流片测试误差大概在多少？

doghead · 发表于 2024-11-19 16:18:44

如题，想用来做谐振腔，电容误差直接影响了谐振频率。我们没用过这个工艺流片，pdk里的文档没有直接介绍具体元件的加工误差，只看得到几条曲线。想请教各位专家关于该器件加工误差的经验值，以及一般会怎么减小误差，RF版图里会去按照模拟那种匹配的画法来做吗？

nanke · 发表于 2024-11-21 09:10:53

电容montecarno model里有写的。既然是金属作的电容，金属宽度，金属间距，介电常数，这些肯定会受加工精度和附近的应力影响产生误差的。

nanke · 发表于 2024-11-21 09:11:57

nanke 发表于 2024-11-21 09:10
电容montecarno model里有写的。既然是金属作的电容，金属宽度，金属间距，介电常数，这些肯定会受加工精度 ...

t的模型蒙特卡洛还是很准的，特别是低频的。但是你要用在高频，高频的东西model也很难作准。

doghead · 发表于 2024-11-21 12:50:18

nanke 发表于 2024-11-21 09:11
t的模型蒙特卡洛还是很准的，特别是低频的。但是你要用在高频，高频的东西model也很难作准。
...

高频确实会有不准的情况，我大概只会用在20G以下，T的模型到30G，想请问前辈这个情况准不准呢

doghead · 发表于 2024-11-21 13:02:34

nanke 发表于 2024-11-21 09:10
电容montecarno model里有写的。既然是金属作的电容，金属宽度，金属间距，介电常数，这些肯定会受加工精度 ...

这是文档里给的图，这个横坐标和lot123分别表示的是什么呢？感谢回复。

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