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Michael2023 · 发表于 2024-10-23 21:39:16

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哪位大侠可以帮忙下载两篇论文，谢谢

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Anisotropic plasma etching of polysilicon - 百度学术
2. SIMPLE- A technique of silicon mocromachining using plasma etching

SEUICer · 发表于 2024-10-23 22:12:46

1. Anisotropic plasma etching of polysilicon
2. SIMPLE- A technique of silicon mocromachining using plasma etching

Michael2023 · 发表于 2024-10-24 22:12:45

非常感谢！

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