请教各位大佬一个关于smic28层次的问题

罕觏 · 发表于 2024-5-8 11:21:24

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P2:poly trim slot ，不太理解这个层次的意思，是跟poly cut 一样的作用吗？

P4:HKMG PMOS poly remove，搜到过一个HKMG PMOS WF poly remove,有佬说是运算层，想知道没有WF，作用还一样吗？
请路过大神指导一下

罕觏 · 发表于 2024-5-8 16:57:22

이지은 发表于 2024-5-8 14:36
1.smic的p2就是polycut
2.记不太清楚了，有那么个印象H啥的参杂浓度不一样，看看rule吧
...

层次介绍只有一句 poly trim slot ，其他没有

C7cgff · 发表于 2024-5-8 15:44:42

P4与HKMG有关，HKMG概括就是用金属栅极代替硅栅提高介电常数，P4作为运算层参与刻蚀PMOS硅栅，gate frist工艺需要硅栅实现自动准，所以先生产后刻蚀。跟tsmc的PMET一个意思，由于PNmos金属栅极功函数不一样，所以PMOS上覆盖P4参与运算区分PN生成不同的金属栅极。

이지은 · 发表于 2024-5-8 14:36:33

本帖最后由 이지은 于 2024-5-8 14:38 编辑

1.smic的p2就是polycut
2.记不太清楚了，有那么个印象H啥的参杂浓度不一样，看看rule吧

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