关于JDV

Enzo_Tang · 发表于 2023-12-15 17:54:47

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各位同行们，想向大家请教下，我们做JDV的时候，光罩厂反馈回来的mask数据，有1X,2X,4X,8X的数据，1X,2X,4X,8X这些怎么理解？希望大家不吝赐教

张2018 · 发表于 2023-12-15 19:31:36

光罩和实际尺寸的放大倍数吧

CSFOC · 发表于 2023-12-15 21:30:24

原始GDS版图尺寸数据与光罩版上图案尺寸数据的比例

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