东部工艺TGOX50层有什么作用啊

某同学 · 发表于 2023-8-11 13:01:15

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各位大佬，为啥LVT和HVT都有TGOX50层呢？这一层是什么呀，以及LVT和HVT不是受栅氧化层掺杂浓度影响嘛，怎么从这个图里看不出来呢？

zl1999 · 发表于 2023-8-11 14:42:54

HVT有TGOX50层吗？

lijie5992373 · 发表于 2023-8-11 16:37:19

个人理解， 1. HVT有TGOX50, LVT没有 2. HVT需要TGOX50的原因是，GOX越厚，电容越低，需要更高的电压才能让沟通反型出足够的电荷。 3. LVT和HVT主要受LDD掺杂影响， Gox质量都差不多，只是厚度差异

某同学 · 发表于 2023-8-11 17:51:48

zl1999 发表于 2023-8-11 14:42
HVT有TGOX50层吗？

HVT图例上有，但是俯视图没有

某同学 · 发表于 2023-8-11 17:56:07

lijie5992373 发表于 2023-8-11 16:37
个人理解， 1. HVT有TGOX50, LVT没有 2. HVT需要TGOX50的原因是，GOX越厚，电容越低，需要更高的电压才能 ...

HVT图例有TGOX50，但是俯视图没有这个，LVT图例没有TGOX50，但是俯视图有。

以及您的意思是HVT器件用到TGOX50就是为了提供更厚的氧化层，从而做高Vth吗？那我是不是可以理解为pdk文档画错了，

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