SADP

Roysunal

看N6设计里，M0层是铺满的，cell与fill之间会有SADP的小格子，有木有大佬讲解一下SADP是啥，M0为啥要铺满

pandaroy

SADP 是self aligned double pattern，是指通过两次曝光来实现更小pitch pattern的实现

Roysunal

   

pandaroy 发表于 2023-7-26 13:22
SADP 是self aligned double pattern，是指通过两次曝光来实现更小pitch pattern的实现
...

请问为什么要把M0铺满呢？

zero_0

不讨论NDA相关的问题（事实我也没接触过N6），就公开资料显示，M0通过via0接M1,通过contact接poly/diffusion, 是一层实实在在的metal，不可能允许不同的信号短接在一起，所以你看到的应该只是近似铺满，也就是各个连接都是分开的

近似铺满很正常，M0不用作routing，自身电阻率高，用于连接poly/diffusion, 所以有poly/diffusion的地方都可以有它，没poly/diffusion的地方也可以有它，只要满足DRC，面积大点没什么坏处

pandaroy

   

Roysunal 发表于 2023-7-26 20:00
请问为什么要把M0铺满呢？

抱歉不太理解你说的铺满是什么意思，如果你看到的SADP只是一个cad layer，那就是辅助作用，不会在真实的mask有所体现的，你也可以在design manual里面找到相关信息


你所看到的M0铺满可能是撒完dummy的