Nanusens CMOS-MEMS 惯性传感器白皮书

crchuang · 发表于 2023-6-15 00:20:16

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本帖最后由 crchuang 于 2023-6-15 00:24 编辑

Nanusens CMOS-MEMS 惯性传感器白皮书

The challenges and solutions of building MEMS devices using the BEOL metal layers of a solid-state CMOS semiconductor process

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linghuan · 发表于 2023-7-5 10:24:42

谢谢；

Billmtk · 发表于 2023-8-20 14:26:17

谢谢分享资料

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[资料] Nanusens CMOS-MEMS 惯性传感器白皮书

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