请问一下wafer切割道的结构是什么样子的？

tencome · 发表于 2023-4-24 08:22:41

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请教一下大神，切割道的结构一般是什么样子的？除了表面能看到的一些test pad，有没有那种横截面示意图啊？

追魂 · 发表于 2023-4-24 10:26:57

同问

xy20190211 · 发表于 2023-4-24 11:04:57

有开窗层就行了其他的可有可无

tencome · 发表于 2023-4-24 20:41:32

xy20190211 发表于 2023-4-24 11:04
有开窗层就行了其他的可有可无

这位大佬应该知道吧？能给个示意图最好，手画的示意图拍个照看看也行。

JHX_SMICS · 发表于 2023-4-25 16:09:39

本帖最后由 JHX_SMICS 于 2023-4-25 16:11 编辑

切割道里的TK很多，有CD、厚度、深度等量测TK，也有WAT 电性TK以及可靠性的RE TK；
由于TK是和芯片是一起生产的，所以和通网上搜到的芯片横截面是一样的。

tencome · 发表于 2023-4-26 13:32:05

JHX_SMICS 发表于 2023-4-25 16:09
切割道里的TK很多，有CD、厚度、深度等量测TK，也有WAT 电性TK以及可靠性的RE TK；
由于TK是和芯片是一起生 ...

切割道区域也会有底部那种MOS晶体管结构么？

JHX_SMICS · 发表于 2023-4-26 13:43:43

tencome 发表于 2023-4-26 13:32
切割道区域也会有底部那种MOS晶体管结构么？

有，WAT 测试的就是管子

tencome · 发表于 2023-5-3 10:09:45

JHX_SMICS 发表于 2023-4-26 13:43
有，WAT 测试的就是管子

多谢多谢大佬

andy2000a · 发表于 2023-5-3 12:57:29

Scribble line 画法看 layout design rule 会有, 各家代工厂多多少少会有点不同, Scribble line 一般放WAT 量测test key (TK) device , 或fuse align mark .

切割道区域不算MOS 只是不同层迭出来 ( WAT TEST KEY 有 ).

dvdcz · 发表于 2023-5-4 11:53:15

切割道有不同宽度，80um，60um等，里的放置的CD bar、TK框、产品mark等等，也有WAT电性或可靠性monitor pattern，也就是testkey，由于工艺过程不同，截面图没有实际意义

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