Finfet工艺中差分对的匹配

0103 · 发表于 2023-4-21 15:07:38

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在Fifet工艺中，差分对的匹配形式是ABBA/BAAB好，还是ABAB/BABA好

이지은 · 发表于 2023-4-21 15:08:13

ABAB/BABA

ZN0001 · 发表于 2023-4-21 15:27:25

이지은 发表于 2023-4-21 15:08
ABAB/BABA

这是为什么呢，没做过这么先进的工艺，请教请教

ljh065216 · 发表于 2023-4-21 15:29:02

射频直接a一边b一边了

이지은 · 发表于 2023-4-21 17:33:10

zby3214779212 发表于 2023-4-21 15:27
这是为什么呢，没做过这么先进的工艺，请教请教

大工艺更考虑共质心，小工艺mismatch没有那么大，更关注的是对称。所以ABBA更适合大工艺，ABAB更适合小工艺。

小煤球joy · 发表于 2023-4-23 17:41:28

이지은 发表于 2023-4-21 17:33
大工艺更考虑共质心，小工艺mismatch没有那么大，更关注的是对称。所以ABBA更适合大工艺，ABAB更适合小工 ...

请问下为什么说小工艺mismatch没有那么大，请教

ZN0001 · 发表于 2023-4-24 11:59:46

是不是由于器件尺寸小，每个离得近，所以晶向应力啥的对其影响不大，刻蚀环境也大致相同？

mbgcs · 发表于 2023-4-25 08:59:06

学到了，大工艺共质心，小工艺对称

BoomBoomsyt · 发表于 2023-4-26 15:29:51

大工艺小工艺指的是尺寸的大小区别吗？比如018和025？

realgb · 发表于 2023-4-26 16:21:02

이지은 发表于 2023-4-21 17:33
大工艺更考虑共质心，小工艺mismatch没有那么大，更关注的是对称。所以ABBA更适合大工艺，ABAB更适合小工 ...

不对吧，根据 Pelgrom's law 器件面积越小，mismatch越大

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