SCR静电ESD的测试，空气放电能力比接触放电能力还要弱，为什么呢？

haozz

请教，各位大佬，一颗触发电压是28V的SCR，用静电枪去打ESD测试。
接触放电模式下，能到17KV。空气放电模式下，只能到12KV。


比较奇怪，以往做TVS二极管、NPN三极管的ESD测试，都是空气放电比接触放电强。
为什么SCR上会反过来呢？

fj0510

可以看看这个文章
DOI: 10.1109/ceem.2009.5304205

bit_mlxg

同问，看网上的说法是在同样的电压下接触放电的电流比空气放电大,对电子器件更易损坏。但我感觉能量是一样的。

haozz

   

fj0510 发表于 2024-1-9 14:09
可以看看这个文章
DOI: 10.1109/ceem.2009.5304205

感谢您的回复。这份文章后来我也有找到，确实有这种可能，空气和接触静电的波形差异，导致器件进入泄放状态的速度不一样。