版图中CPO这一层mask到底是什么？

五九X改 · 发表于 2023-3-9 15:21:12

CPO的作用是将一段poly切成两段，那它在实际版图中也是多晶吗？如果是它和普通的poly有啥区别？如果不是，它是如何起到切断poly的作用的？

powerboy711 · 发表于 2023-3-9 15:21:13

应该是屏蔽参杂P，或者N型注入，没有参杂的多晶电阻率很高，相当于断路。

pandaroy · 发表于 2023-3-9 15:39:20

如果是先进制程的话，是在形成poly以后再把CPO覆盖的poly cut掉

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