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[求助] 请教个SMIC180BCD工艺方面的问题

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发表于 2023-1-9 11:52:05 来自手机 | 显示全部楼层 |阅读模式

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SMIC180BCD工艺中用到了p poly电阻,现在想要改版需要用到dummy电阻,但是pdk中自动补的dummy电阻少了RESP1,RESP3T,RESCKT这三层,我们改版只想改metal以上层次,请问下这三层对前端的mask有没有影响
发表于 2023-1-9 15:05:21 | 显示全部楼层
个人认为没有影响,RESP1,RESP3T,RESCKT都是电阻的标志层,在实际芯片中,dummy的POLY 才是起到调整环境一致作用的层。
发表于 2023-6-26 14:51:25 | 显示全部楼层
借楼问下你的smic18 BCD工艺后仿提取寄生用的是啥
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