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查看: 1394|回复: 1

[求助] sti是一点bird beak都没有了吗？

发表于 2022-12-7 13:34:21 | 显示全部楼层 |阅读模式

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LOCOS工艺会形成类似鸟嘴的结构，sti是完全消除了 bird beak，还是说也会有一点bird beak

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发表于 2023-1-30 22:07:40 来自手机 | 显示全部楼层

据我看的资料的理解，sti工艺是替代locos工艺，完全消除bird beak.

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