求助：14nm和28nm gate 高度一般做到多少

jenyusir · 发表于 2022-3-7 10:35:42

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求助：请教大神，有没有知道14nm和28nm gate高度一般做到多少？

gcwen · 发表于 2022-5-23 12:50:50

参考dummy poly的厚度应该差不多。

小李子2333 · 发表于 2023-5-30 00:38:07

14nm是FinFET，28nm是平面结构，3维和2维的gate高度没法比啊

yh919 · 发表于 2023-7-22 00:33:27

这都是fab的recipe，一般不太可能获取到。如果真想获取，可以通过切片去量测一下哈。

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