金属层是什么材质？？求助求助

qq416675763 · 发表于 2021-11-2 16:03:44

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想请教一下各位大神，一般金属层都是用Cu还是Al啊？拿到了PDK找了一遍，只找到了每层金属的厚度，材质成分找不到哇。。。。

billgolden · 发表于 2021-11-2 16:21:25

不同工艺材质不同，还是要看pdk的相关文档啊。

qq416675763 · 发表于 2021-11-2 16:32:12

billgolden 发表于 2021-11-2 16:21
不同工艺材质不同，还是要看pdk的相关文档啊。

主要是在PDK里没找着

，只找到了每层的厚度，材质找不到

LYS013 · 发表于 2021-11-19 14:46:51

底层金属基本都是铜互连吧，到了顶层金属降成本是考量之一，铝就可以了，顶层厚度大部分都是14.5埃和28埃，实际上从design rule或者把DRC file打开在文件头部都能找到

qq416675763 · 发表于 2021-11-19 14:50:28

LYS013 发表于 2021-11-19 14:46
底层金属基本都是铜互连吧，到了顶层金属降成本是考量之一，铝就可以了，顶层厚度大部分都是14.5埃和28埃， ...

感谢您的回复，学到了

yzwbb2013 · 发表于 2024-1-11 22:10:25

感谢分享

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