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yhe · 发表于 2021-9-27 11:29:34

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本帖最后由 yhe 于 2023-1-28 15:52 编辑

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carter_jim · 发表于 2021-9-27 16:29:19

区别很大，举个简单的例子：
1. Width of OD in vertical direction = a+nb (n=1,2,3…)

这种情况就不会出现在12nm里面

yuxidaliumang · 发表于 2021-9-27 16:52:06

carter_jim 发表于 2021-9-27 16:29
区别很大，举个简单的例子：
1. Width of OD in vertical direction = a+nb (n=1,2,3…)

是fin的宽度加上n倍pitch吗？

carter_jim · 发表于 2021-9-27 16:58:27

yuxidaliumang 发表于 2021-9-27 16:52
是fin的宽度加上n倍pitch吗？

是滴

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