M4金属布线对M3、M2构成的MIM电容的寄生影响

liangyl · 发表于 2021-7-5 16:34:35

求教各位大佬，目前采用的工艺只有4层金属，在ADC中DAC采用电容DAC，电容采用的是MIM电容。MIM电容剖面图如图所示。

目前已经后仿过，当竖直布线M4，从MIM电容上方经过时，会对DAC中电容比例造成影响，但又必须经过上方，求教各位大佬，有没有什么能够减小或者避免寄生的方法。万分感谢!!!

liangyl · 发表于 2021-7-5 16:35:23

MIM电容剖面图如图所示

demonhunter · 发表于 2021-7-7 12:40:13

个人观点：确保所有的寄生越小越好。工艺和版图限制了能达到的位数。《版图的艺术》书上说，不修调能达到15~16位。

quantus · 发表于 2021-7-7 17:16:10

这种优化都是基于具体设计的，很难有普适的指导原则。如果有cst，可以用cst看下M4对寄生的影响。另外Calibre xACT 3D field solver 也可以做这类寄生的抽取。抽取以后看看寄生的影响，然后对电路进行相应的修改吧。从我有限的所知来看基本没有太好的解决方法。

老尤皮 · 发表于 2021-7-7 22:07:26

还是建议M4绕线

liangyl · 发表于 2021-7-8 16:19:23

老尤皮发表于 2021-7-7 22:07
还是建议M4绕线

就是因为不能绕线才有这个问题... 感觉这个问题避免不了

liangyl · 发表于 2021-7-8 16:20:28

quantus 发表于 2021-7-7 17:16
这种优化都是基于具体设计的，很难有普适的指导原则。如果有cst，可以用cst看下M4对寄生的影响。另外Cal ...

感觉这个问题无解。工艺限制了这个问题

acging · 发表于 2021-7-8 16:28:30

覆盖电容的地方，全部走M4，空的地方填power线，有没有考虑过这种。

ZZW_semic · 发表于 2021-7-8 16:28:43

通过走线，保证走线寄生的电容也是binary关系

liangyl · 发表于 2021-7-8 16:46:11

ZZW_semic 发表于 2021-7-8 16:28
通过走线，保证走线寄生的电容也是binary关系

由于布线也并不是所有MIM电容都是全部覆盖，所以应该做不到Binary关系

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