tsmc 先进制程的底层金属连接规则？

prayer163 · 发表于 2021-1-15 19:16:36

先进制程在poly,diff和metal1之间还有别的金属连接关系吧？具体的连接关系不懂呢，哪位大神能给讲讲吗？或者能不能分享一份连接规则呢

andyfan · 发表于 2021-1-15 20:06:08

你说的应该是20以后的事情，28/22还是和传统类似的连接关系。20改为ALL LAST，开始变化，但是考虑20是很短命的一代，你可以认为是从16开始变化的。

下面这张图简单解释了28/16的差异，这个连接关系到10/7/5又有新的变化，比如7/5和16又不太一样。但重要的本质一样，就是原来的CONT不再是简单的小正方形，是类似长条的可以做局部连接的金属了。

prayer163 · 发表于 2021-1-21 19:05:48

andyfan 发表于 2021-1-15 20:06
你说的应该是20以后的事情，28/22还是和传统类似的连接关系。20改为ALL LAST，开始变化，但是考虑20是很短 ...

谢谢！

fangwang85 · 发表于 2021-1-22 10:39:57

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