FINFET 工艺里面CutOD是干嘛用的

glchun

   

glchun 发表于 2021-3-30 22:01
没那么复杂，第一个是SADP工艺里面形成的Fin都是一个围绕line的环状fin，所以必须要两头切掉(Cut)。第二个 ...

还有就是SADP吃出来的Fin默认都是偶数个，但是你不会刚好那么巧都是用得上的，多余的就是要cut掉。

cyril3164

gate cut?

bigjohn

   

andyfan 发表于 2020-7-29 21:55
形成FIN的时候，是GLOBAL的，就是整片的形成，但是只有形成器件的也就是画OD的地方才是需要的FIN。

其他的 ...

Thank you very much.