请问TSMC28nm如和修改finger spacing

zhang12232015 · 发表于 2020-7-28 17:36:26

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如图，在管子设置里这一项是灰色的不能修改

andyfan · 发表于 2020-7-28 22:46:57

这个没法修改，是固定死的；设计规则里面core poly space固定100nm；

如果加上dmy_sch这层layer，space可以是100/105/110三种，但这个只是为了std cell的multi channel准备的。有专门的EB去调整，利用poly space effect。

标准的analog电路只允许一种SPACE，这个是HKMG工艺的特殊性要求的。比较特殊的两种情况，一个是ESD管子，space是0.32还是0.36来的，还有一个是PP_PUSH增强的RFMOS，space固定0.18（但沟道长只支持0.03）。

不同的SPACE都要配合专门的工艺去调整的。

firewolf223 · 发表于 2020-7-29 08:58:06

28HK 工艺限制，gate pitch是固定的，不能修改。
当length大于某个值的时候就可以改了，但是有最小spacing的限制。

zhang12232015 · 发表于 2020-8-12 14:00:19

firewolf223 发表于 2020-7-29 08:58
28HK 工艺限制，gate pitch是固定的，不能修改。
当length大于某个值的时候就可以改了，但是有最小spacing ...

多谢

zhang12232015 · 发表于 2020-8-12 14:01:49

andyfan 发表于 2020-7-28 22:46
这个没法修改，是固定死的；设计规则里面core poly space固定100nm；

如果加上dmy_sch这层layer，space可 ...

原来是这样多谢

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