DRC中遇到的费解问题

HITTOP · 发表于 2020-5-3 15:36:22

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1、M1、M2区最小面积为0.20um
2、最小密度问题
详细如图

maomao198477 · 发表于 2020-5-3 16:39:03

本帖最后由 maomao198477 于 2022-8-2 10:30 编辑

之前碰到过一样的问题

firewolf223 · 发表于 2020-5-6 09:29:18

面积太小影响litho 和etch ，密度太小影响CMP

aixingril · 发表于 2020-5-7 14:40:13

看到你注册时间，这是刚入门吗
问题还是要回答。
金属最小面积会有要求是因为金属太小影响金属的刻蚀。直接把金属面积增大就可以了。
金属最小密度会有要求是密度太小影响CMP即化学机械抛光，一般模块中不会去改，在顶层加入金属dummy，工艺厂那边生产前也会撒满

HITTOP · 发表于 2020-5-7 16:04:22

aixingril 发表于 2020-5-7 14:40
看到你注册时间，这是刚入门吗
问题还是要回答。
金属最小面积会有要求是因为金属太小影响金属的刻蚀。直接 ...

谢谢，刚入门。
密度的问题不用管了，版图重新画了一遍
现在进行到LVS了，又遇到问题

forevertoyou · 发表于 2020-5-8 10:12:15

HITTOP 发表于 2020-5-7 16:04
谢谢，刚入门。
密度的问题不用管了，版图重新画了一遍
现在进行到LVS了，又遇到问题

电路那边缺个空网表

HITTOP · 发表于 2020-5-8 12:02:41

forevertoyou 发表于 2020-5-8 10:12
电路那边缺个空网表

非常感谢，确实是这样，目前已经解决

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