ESD版图设计问题

xojustka · 发表于 2019-2-10 16:58:07

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有一个小小的问题想请教大神们：图中电路图是ESD保护电路图 M26 M25MOS管子源漏究竟画多粗怎么看而且为什 ...

有一个小小的问题想请教大神们：图中电路图是ESD保护电路图 M26 M25MOS管子源漏究竟画多粗怎么看而且为什么源和漏离栅极的距离不一样（感觉有一端跟栅是紧紧挨着的另一端却不是，版图是我找的网上的）谢谢你们了我真的搞不懂

ZGP123456 · 发表于 2019-2-11 10:28:23

源漏两极到栅极的space，在设计ESD MOS管 rule有要求的，你可以看一下你们的rule。好像是加一层SAB这个物质，增加抗压性。过完年回来喝酒喝忘了，你可以看一下有个叫柯明道的教授有关ESD的解答

xojustka · 发表于 2019-2-12 11:31:12

回复 2# ZGP123456

谢谢你啊！！

奈奈酱 · 发表于 2019-2-12 15:37:17

SAB利用增加漏极宽度产生隔离电阻，提高PAD电位促进ESD保护器件开启

奈奈酱 · 发表于 2019-2-12 15:38:04

SAB利用增加漏极宽度产生隔离电阻，提高PAD电位促进ESD保护器件开启

我要改名字啦啦 · 发表于 2019-2-13 11:04:23

对于上面的问题，一般来说漏端需要画大面积一点，同时，漏端接触孔到栅距离（DCGS）大于源端接触孔到栅距离（SCGS），如果DCGS过小，很可能发生瞬态的ESD冲击耦合到栅上，会将栅氧化层击穿；对此通常会留有一定的DCGS的空间，并且增加SAB工艺将覆盖在漏极接触孔与栅之间的金属硅化物去除,防止栅漏直接串通的发生。而大面积的漏端可以确保大电流流入泄放，起到保护作用。你问到的画多粗，就需要查一下rule。
要从根源上明白ESD保护结构设计准则和原理，论坛上有相应的资料，可以查一下。涉及到的面还是比较广的。

xojustka · 发表于 2019-2-14 20:54:38

回复 6# 我要改名字啦啦

非常谢谢你！这两天我看了你说的文件大概都懂了

lizhibin8718 · 发表于 2020-5-6 20:04:28

解释的到位

模拟后端的小白 · 发表于 2021-6-2 10:07:07

感谢分享

swcidfy2000 · 发表于 2021-6-2 18:22:48

增大漏区包孔一个是寄生的DIODE加大第二个增大漏区电阻方便均匀推动这个结构是两级结构到第二级已经有电阻了且管子尺寸不大适当加大漏区电阻对芯片面积影响不大

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