WAFER制造DEFECT SCAN一般的SAMPLE是怎么样？各层的主要DEFECT是什么？

小李子2333

额，这个可就多了。
如果是BE还好，主流基本上就是metal bridge，oxide bridge，Cu loss这种。
如果是FE，可以千奇百怪，你并不能完全知道发生了啥。