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salicide和polycide工艺的区别,哪个会影响光电器件特性

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发表于 2007-10-23 09:30:54 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请教各位:salicide和polycide工艺的区别是什么,据我所知salicide会在源、漏和栅区形成金属硅化物,如果设计光电器件会影响器件出光或接收光吗?charter 0.35um mixed signal 工艺是salicide还是polycide ?
发表于 2007-10-27 01:07:20 | 显示全部楼层
salicide会有影响的,金属会遮光。polyside只在poly上长,应该影响小吧。
发表于 2009-3-1 21:20:54 | 显示全部楼层
同样关注这个问题
发表于 2009-10-11 14:25:31 | 显示全部楼层
进来学习下~~~~   不了解polyside
发表于 2012-9-29 17:50:28 | 显示全部楼层
nice topic!
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