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[求助] silvaco TCAD 运行出错,求解决

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发表于 2018-7-26 16:23:33 | 显示全部楼层 |阅读模式

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silvaco TCAD 运行光刻部分的例子swing curve时 图片1.jpg

运行到以下位置终止
图片2.png

并出现错误:The structure has been deleted. The program cannot continue.
图片3.png

同样的错误也会出现在该模块下的其他例子
图片4.png

图片5.png


类似问题都出现在光刻工艺流程中,反复查看代码是没有问题的,不知道问题出在哪里,求大神解决
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