silvaco TCAD 运行出错，求解决

Silvia329 · 发表于 2018-7-26 16:23:33

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silvaco TCAD 运行光刻部分的例子swing curve时图片1.jpg

运行到以下位置终止

并出现错误：The structure has been deleted. The program cannot continue.
图片3.png

同样的错误也会出现在该模块下的其他例子
图片4.png

类似问题都出现在光刻工艺流程中，反复查看代码是没有问题的，不知道问题出在哪里，求大神解决

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