一个有关45nm工艺，数字部分金属线的PITCH值

lichq · 发表于 2017-11-16 16:36:20

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有个问题想请教下给为大虾。

45nm工艺，数字部分金属线的PITCH值是多少？？
40nm,金属线的PITCH值是多少？？
万分感谢

strong_2020 · 发表于 2017-11-18 10:19:50

工艺厂的文档里面应该有吧

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[求助] 一个有关45nm工艺，数字部分金属线的PITCH值