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[求助] 请问封装中的 激光开槽

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发表于 2016-8-5 17:25:34 | 显示全部楼层 |阅读模式

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封装厂给的压焊图,有一个选项为:是否激光开槽?请问这是在封装中的哪个步骤进行的,是否采用激光开槽有无影响?
是不是在将wafer 切割成 一个个 die 时 的工序?
谢谢
发表于 2017-3-4 23:02:17 | 显示全部楼层
激光开槽比机械开槽更精确,但成本会高,是在Wafer saw这个步骤
发表于 2017-6-16 10:31:46 | 显示全部楼层
DS环节目前先进的就是激光开槽,一般针对划片槽较窄或者lowk工艺的晶圆
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