SMIC 130 si-sub厚度

PERRY_C · 发表于 2016-4-27 11:30:35

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要做个ADS用的衬底，但SMIC 130 PDK 里的文档里只有各个介质层的厚度及参数，但各个介质层应该是放在si-sub之上的吧？所以在FOX下边应该还有一层sub才对，所以SMIC 130 sub厚度应该是多少？？？

podcast · 发表于 2016-4-28 15:09:49

一般是300um。不过是可以变的，如果需要的话可以做chip thinning。

student321 · 发表于 2016-4-28 19:15:50

300um这个是加工后减到的数

kayjep · 发表于 2017-3-21 11:20:01

过来学习一下

萧萧下 · 发表于 2019-6-17 14:51:32

这个哪里能查到呢

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[求助] SMIC 130 si-sub厚度