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[资料] 《微电子制造科学原理与工程技术》第二版 美 坎贝尔著 曾莹等译

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发表于 2015-11-19 15:03:03 | 显示全部楼层 |阅读模式

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这本书之前论坛里也有,但有8个附件,我整理了一些,缩减到3个附件,省了大家的信元了,嘻嘻
目录
第1篇 综述与题材
 第1章 微电子制造引论
 第2章 半导体衬底
第2篇 单项工艺I:热处理和离子注入
 第3章 扩散
 第4章 热氧化
 第5章 离子注入
 第6章 快速热处理
第3篇 单项工艺2:图形转移
 第7章 光学光刻
 第8章 光刻胶
 第9章 非光学光刻技术
 第10章 真空科学和等离子体
 第11章 刻蚀
第4篇 单项工艺3:薄膜
 第12章 物理淀积:蒸发和溅射
 第13章 化学气相淀积
 第14章 外延生长
第5篇 工 艺 集 成
 第15章 器件隔离、接触和金属化
 第16章 CMOS技术
 第17章 GaAs工艺技术
 第18章 硅双极型工艺技术
 第19章 微机电系统
 第20章 集成电路制造
附录A 缩写与通用符号
附录B 部分半导体材料性质
附录C 物理常数
附录D 单位转换因子
附录E 误差函数的一些性质
附录F F数
附录G SUPREM指令 微电子制造科学原理与工程技术 中文.part1.rar (15 MB , 下载次数: 313 ) 微电子制造科学原理与工程技术 中文.part2.rar (15 MB , 下载次数: 330 ) 微电子制造科学原理与工程技术 中文.part3.rar (1.19 MB , 下载次数: 154 )
发表于 2015-11-20 17:08:21 | 显示全部楼层
kan kan
发表于 2015-11-23 15:27:19 | 显示全部楼层
感謝大大的分享
发表于 2015-12-25 15:44:49 | 显示全部楼层
goooooooooooooooooooooooooooooooooooood
发表于 2016-1-5 10:14:57 | 显示全部楼层
感谢分享
发表于 2020-11-15 22:35:11 | 显示全部楼层

kan kan
发表于 2020-12-26 16:16:21 | 显示全部楼层
想问下有他的答案嘛
发表于 2020-12-27 09:58:53 | 显示全部楼层
感谢
发表于 2021-4-6 02:26:57 | 显示全部楼层
谢谢,支持
发表于 2021-11-11 14:05:27 | 显示全部楼层
谢谢分享
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