关于silvaco离子注入的问题

gooner · 发表于 2015-6-1 14:17:27

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硅上生长氧化层，氧化层上涂胶，显影进行离子注入，出现下面报错信息： QQ截图20150601141612.png

但是我把胶strip后，就可以了。但是这样胶也没有起到注入屏蔽作用了。请问如何解决。

yingqigang25 · 发表于 2015-6-1 18:07:28

有人回答吗

xiaokang4714766 · 发表于 2015-9-17 10:49:31

我仿真的时候一般直接把不需要的胶直接刻蚀掉，感觉silvacol 的mask没有tsuprem4的好弄呀

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