GF65nm MOS管layer

QQ874283381 · 发表于 2015-4-3 09:00:47

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刚刚接触GF65nm 工艺，里面的MOS管，PFET 有一层BP plus, 相当PPLUS，用来识别PMOS, NFET没找到相当Nplus的识别层，里面有一层IOLOC layer 不知道是不是，资料中没有跟这个相关的，请大神解析~

icfbicfb · 发表于 2015-4-7 11:40:38

不是JX （212.137)，JZ（212.138）层吗，我记得是gf65lpe的，

QQ874283381 · 发表于 2015-4-7 15:45:38

没有JX （212.137)，JZ（212.138）这两层呀，貌似Nplus 没有

even810223 · 发表于 2015-4-7 16:29:25

有可能他本来就没有呢，也可以解释得通吧，我只是猜测，高端的工艺没见过

QQ874283381 · 发表于 2015-4-7 17:31:38

有没有熟悉GF65的工艺的呀，之前的工艺用来区分两个地的是SUBD 或者PSUB2 layer,现在的是什么layer？？？有谁知道的，不盖那一层的话，两种GND会软连接，LVS过不了

motofatfat · 发表于 2015-4-9 11:49:52

也有可能 N　是　反　tone P

icfbicfb · 发表于 2015-4-9 13:13:09

是SXCUT （　６１.３０　）　，　我当时这个层也找了很久，

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