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[求助] 有关IBM 8WL工艺中的subc_inh的问题

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发表于 2015-3-25 17:02:24 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请教牛人:哪位用过IBM 8WL的工艺中的subc_inh的,其中可以通过调节宽,长来改变电阻,请问这个电阻是两个节点之间的?
我的理解是这个器件是将电路地和晶圆地连接在一起的,但是如果其间有电阻,那是否意味着这两个地不是同一个地呢?
谢谢!
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