DRC density 不修会造成什么问题

lss_945 · 发表于 2015-3-25 10:31:17

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DRC metal density 不修会造成什么问题？为什么一定要修

lss_945 · 发表于 2015-3-25 10:34:12

急急急啊…………………………

fuyibin · 发表于 2015-3-25 10:59:31

yield

lss_945 · 发表于 2015-3-25 15:49:47

回复 3# fuyibin

能说的详细点吗？

naoz · 发表于 2015-3-25 20:29:46

一般foundry会用script自动补的

如果不补，可能的问题就是overetch比较严重，比如A区域没有金属，B区域有一些金属线，化学腐蚀的速度是一致的，如果想要把A区域的金属全部腐蚀掉，那可能的问题就是要花比较长的时间，B区域就可能over etching

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