model中电阻温度系数的准确性

idaidayou

目前在debug一个问题，怀疑是diffusion电阻的温度系数从+6%漂移到+10%左右。请问各位有经验的大神:
(1)40nm工艺中电阻的温度系数在实际制造中上能控制的很准确吗？
(2)温度系数漂移的可能性大不大？

victor0o0

diffusion电阻就是掺杂单晶硅了，温度系数电阻什么的都和掺杂浓度有关，得问问foundary掺杂控制地多好了。
给个网站，你可以看看温度系统对掺杂浓度的敏感程度
http://www.pvlighthouse.com.au/calculators/resistivity%20calculator/resistivity%20calculator.aspx