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[求助] 三维集成电路(3D IC)TSV 设计规则(rule)

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发表于 2014-11-16 15:25:33 | 显示全部楼层 |阅读模式

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求关于3D TSV具体尺寸的大小和工艺尺寸,(希望和实际生产相关的尺寸),求哪位大侠帮助我一下,给我一下设计规则(rule)的资料,十分感谢!!要是没有资料告诉我一下我该如何找到TSV的工业尺寸和TSV模型的尺寸,十分感谢!!
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