GA GB slit nmos in TSMC工艺

blueolive

最近在看TSMC design rule
有几个不明白？
1.什么叫做slit NMOS?
2.TSMC里面有很多device，分为GA和GB，这是什么意思？group A和group B？这样分有什么意义？
还请大牛指导

archersqin

2. GA和GB不能同时使用，只能选其一

blueolive

回复 2# archersqin


    恩 今天看明白了，group A 偏向于低压 ，group B偏向于高压。
但是slit NMOS 也还没搞明白

CeleryOK

在MOS器件的​​漏极延伸区（Drift Region）​​制造物理分割（Slit），形成多个并联的导电通道，关键技术优势：
​​电场分布优化​​：通过分散漏极边缘电场，提升击穿电压
​​热应力分散​​：降低大电流下的局部温升
​​寄生电容削减​​：减少Cgd/Cds结电容

AI说的。