请教smic或tsmc 65nm，40nm，22nm工艺下的金属层及ILD厚度

nbaman · 发表于 2025-3-10 15:35:30

你可以看下Design Rule, 简称DR

XXXXavier · 发表于 2025-3-26 23:14:36

娴酱发表于 2025-2-17 17:09
shrink 0.7是什么意思啊

摩尔定律关键尺寸缩小0.7，等比例缩小的情况下，ILD也相应缩小0.7倍

娴酱 · 发表于 2025-4-3 14:22:52

XXXXavier 发表于 2025-3-26 23:14
摩尔定律关键尺寸缩小0.7，等比例缩小的情况下，ILD也相应缩小0.7倍

IDL是什么意思啊

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[求助] 请教smic或tsmc 65nm，40nm，22nm工艺下的金属层及ILD厚度