density不足或过多对芯片的影响？

zhangyanyan · 发表于 2018-9-5 17:53:10

坐求后续解释

xuelong1991 · 发表于 2019-4-4 08:55:29

主要考虑CMP后的表面形貌，对于CU工艺，layout density越高，CMP磨完后这个区域的CU 高度就越低

vissa · 发表于 2019-4-10 15:08:46

楼上的回答真好，赞！

coronaab · 发表于 2022-1-26 10:23:31

有人能将讲讲diffusion 和 poly density不足能造成什么问题吗？

xxw9054 · 发表于 2022-8-9 10:15:49

大佬们，能说一说diff和poly的density过高/不足，带来的影响么？

Tdc0001 · 发表于 2023-2-15 18:21:01

密度还是比较重要的，就比如AA如果有大片的STI OX存在，在CMP之后会造成严重的凹陷，可能会导致后续poly残

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