栅氧和氧化层侧墙之间的是什么

snail000 · 发表于 2013-11-8 15:36:12

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姚圈圈 · 发表于 2013-11-9 14:03:21

是Ti吗

mxlvljr · 发表于 2013-11-26 20:27:09

这个我要查一下flow看看

caosl · 发表于 2013-11-27 11:05:49

材料是TEOS 这个结构叫spacer ，作用是使管子的实际沟道比版图上要长减小沟道效应

li_12345654 · 发表于 2014-4-1 14:53:23

是Spacer ,隔绝作用！！当然也有楼上说的那个作用！！

fffangbiao · 发表于 2015-4-8 10:09:32

SIO2,二氧化硅

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