请教各位大神，什么是Deep Trench Isolation啊？？？

panpan73

学习了，

tylxy0033

深槽隔离,顾名思义？主要用在高压方面。一般在designrule里有剖面示意图，看看就明白了

MicroEpzc

   

tuohong 发表于 2021-1-14 17:50
感觉“所以需要增加走线到衬底的距离”那句跟DTI没啥直接关系。

我感觉也是，DTI是纵向的，高压走线是横向的，这句话在这里有点突兀的样子

ncash0933

deep trench isolation 可以避免cross talk

Martinary

DTI用于实现器件之间的横向隔离，底部仍然基于PN结耗尽隔离；STI实现的是表面隔离，要结合内部PN结耗尽隔离使用。