请问TM、TM1、TM2和UTM这几种top metal的区别？

huaijiu

按照工艺来的，比如SMIC的，TM1的厚度是9.9K,TM2的是34.1K等，top metal的厚度会有区别，根据你项目所需选择Top metal

imefox

   

wspyl 发表于 2013-7-31 21:54
谢谢了。
是不是两层厚金的工艺例如smic13_1p8m_2tm这种，它的最顶层TM2一定就是UTM呢？也就是说TM2和UTM ...

看一下spice model对应的文档，比如TM-MM13-RM-2004V12R.pdf

smic13_1p8m_2tm看上去是带了两层顶层金属TM1（9KA）和TM2（30KA）。TM2和ALPA(12.5KA）可以用来画电感。
smic 0.13um的baseband model只有TM（9KA），而RF model则有两种顶层金属TM1和TM2可选，并且TM1和TM2可以同时存在。
在0.18um工艺中，顶层金属只能选一种（TM1是9KA，TM2是22KA，MTT1是34KA，MTT2是40KA）