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楼主: zzjseu

[求助] 关于insert pad filler cell 的作用

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发表于 2013-7-25 13:42:50 | 显示全部楼层
metal filler有什么功能吗,提高金属覆盖率什么目的?
发表于 2016-12-7 10:52:53 | 显示全部楼层
回复 11# nicolasr

跟工艺有关。如果某一局部metal density过低,会在制造环节造成过刻蚀的后果。
发表于 2016-12-7 16:01:59 | 显示全部楼层
回复 11# nicolasr


    没有metal filler这种说法吧,io上加filler是为了让power ground都连接起来,内部最后会加dummy layer,不止dummy metal还有dummy poly和dummy OD等 是整个芯片的layer满足一定的密度 避免应力效应 局部过于脆弱 就容易坍塌
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