90nm 65nm 45nm 32nm 下各金属层和ILD厚度

tsphone · 发表于 2013-1-6 00:15:37

手头没有工艺文件，需要金属互连线参数建模分析延时和功耗各金属层和ILD（主要是顶层）厚度是多少？介电常数？
多谢！

shfeiwang · 发表于 2013-1-6 10:36:11

这个每个fab都不太一样吧，去fab下载itf就可以了哦

icfbicfb · 发表于 2013-1-6 19:51:00

对，

tsphone · 发表于 2013-1-8 05:01:14

没找到啊，
发信去要了，不知道给不给啊
多谢

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