OPC block layer?

motofatfat · 发表于 2013-12-27 09:25:15

感謝您

Haniel1986 · 发表于 2016-5-5 08:31:19

smic .18工艺下，他们还是要求提供ram的opc block layer

suly · 发表于 2016-5-5 16:46:30

回复 12# Haniel1986

看ram的文档里边会有用到的哪些层找到阻挡层就行了

ic_shuo · 发表于 2016-5-19 15:11:26

学习了，OPC block layer和METAL block layer有相似的用法

sunnyliu · 发表于 2016-5-20 15:08:36

回复 10# hitmic

ESD器件比较大，可以不用做OPC的

qxjwzl · 发表于 2019-7-4 14:27:06

allen_tang 发表于 2012-6-16 17:45
opc是光学近似修正, 一般180nm以下会对光刻图案做修正，使光刻机得到最大的曝光window，目的是使曝光刻蚀后 ...

学习了，谢谢大神。

Aki_hu · 发表于 2019-7-11 14:25:39

学习了

wplwdd · 发表于 2019-8-29 15:42:52

谢谢，学习了

Miya.huang · 发表于 2019-8-30 14:21:38

allen_tang 发表于 2012-6-16 17:45
opc是光学近似修正, 一般180nm以下会对光刻图案做修正，使光刻机得到最大的曝光window，目的是使曝光刻蚀后 ...

学到了~~多谢

小人物的不平凡 · 发表于 2019-8-30 19:20:19

学到了谢谢

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