ADC中电容类型的选择

小飞侠111

目前在做SAR ADC，其中的电容阵列中的电容是采用mim cap还是pip cap呢？查看工艺库中对mim cap和pip cap的说明，有些地方看不懂，在下面贴出来了，各位谈谈看法吧。

section cap

*
* MIM capacitor
*
  parameters cjmim=1e-3 cjmim_std=0.1e-3      
  parameters cjswmim=1e-10 cjswmim_std=0.1e-10
  parameters mcjmim_std=0.01e-3      
  parameters mcjswmim_std=0.01e-10

  statistics {
        process{
             vary cjmim  dist=gauss std=cjmim_std
             vary cjswmim dist=gauss std=cjswmim_std
           }
        mismatch {
             vary cjmim  dist=gauss std=mcjmim_std
             vary cjswmim dist=gauss std=mcjswmim_std
           }
  }

inline subckt mimcap(PLUS MINUS)
    parameters l=1e-6 w=1e-6
    model mimcapmod capacitor cj=cjmim cjsw=cjswmim tc2=0 tc1=0 tnom=25
    mimcap (PLUS MINUS) mimcapmod l=l w=w
ends mimcap

*
* PIP capacitor
*
  parameters cjpip=1.2e-3 cjpip_std=0.12e-3      
  parameters cjswpip=1e-10 cjswpip_std=0.1e-10
  parameters mcjpip_std=0.01e-3      
  parameters mcjswpip_std=0.01e-10

  statistics {
        process{
             vary cjpip  dist=gauss std=cjpip_std
             vary cjswpip dist=gauss std=cjswpip_std
           }
        mismatch {
             vary cjpip  dist=gauss std=mcjpip_std
             vary cjswpip dist=gauss std=mcjswpip_std
           }
  }

inline subckt pipcap(PLUS MINUS)
    parameters l=1e-6 w=1e-6
    model pipcapmod capacitor cj=cjpip cjsw=cjswpip tc2=0 tc1=0 tnom=25
    pipcap (PLUS MINUS) pipcapmod l=l w=w
ends pipcap

endsection cap

sheepyt

mimcap

小飞侠111

回复 2# sheepyt


  多讲讲嘛，为什么不用pip cap

gadflybook

只知道MIM可以，PIP是啥东东

sheepyt

回复 3# 小飞侠111
主要是不知道pip是什么啊

dj_max

用MIM吧，寄生小，PIP是poly-poly？

ericking0

PIP的下极寄生大些
但是觉着匹配应该好些吧

小飞侠111

回复 6# dj_max

是的，PIP是poly to poly。

小飞侠111

回复 7# ericking0


   我现在做的ADC中要用到电容阵列，对匹配和寄生电容都有要求。不知道PIP电容和MIM 电容的匹配精度和寄生电容的大小在一个什么量级上。
我用到的最小的电容大概是35fF。

sunsunshine

好像工艺库给的那个pdf里面有说两个电容的一些参数，还列个表总结，他们自己测试出的工艺偏差，寄生电容等，个人觉得还是用mim cap,比较准